光罩储存盒的产品要求
光罩是连接芯片设计和生产的重要纽带,业内又称光掩模版、掩膜版,英文名称 mask 或 photomask。它从下到上分别是石英玻璃(高纯度、低反射率、低热膨胀系数)、金属铬膜(沉积与蚀刻容易,不透光)和感光胶。使用高精度电子激光设备把设计好的电路图曝光在感光胶上,被曝光的区域就会被显影出来,并在金属铬上形成电路图形,成为类似曝光后的底片的光罩。然后将光罩布置在光刻机上,对集成电路进行投影定位,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻。
光罩通常会在不同的光刻机中来回传送,一台光刻机每小时的产量高达上百片晶圆,而一层电路图只会使用同一块光罩,所以光罩的好坏直接关系到所有晶圆的质量。但是由于光罩膜太薄太透明,如果光罩在曝光时出现问题,即使是性能优秀的光刻机也无法检测出来,只能依靠操作工的目检,这样的风险无疑是巨大的。
因此在运输储存使用光罩的过程中,为了保证光罩的洁净度和质量,需要严苛控制光罩的周边环境,尽可能的避免划碰伤、玻璃发霉雾霾、空气污染和静电的影响。光罩存储盒主要用于运输和储存阶段,对光罩起到安全防护作用,避免光罩遭受外部微尘粒子及化学污染。光罩存储盒又称为单片光罩盒、光罩出货盒、光罩载具等。
透明防静电abs塑胶应用
启富塑胶一直致力于为半导体客户提供种类多样的防静电导电塑料,并为客户提供定制化的esd材料j9九游会登陆的解决方案,作为优秀的导电化合物供应商,启富塑胶生产的导电化合物能适用于各种半导体制程应用。
启富塑胶丰富的半导体载具行业研发生产经验,可以针对不同的客户和工艺需求提供定制化的导电化合物。并广泛应用于晶圆制造生产的各个制程,我们的研发工程师开发了多种特性的导电防静电改性塑料用与不同的晶圆生产工艺。
针对光罩储存盒产品的特性,我们建议客户选用透明防静电abs材料和导电防静电黑色pc材料作为光罩载具的生产材料。透明材料可以实现工序制程中的免开盒检查,abs和pc材料良好的尺寸稳定性能给予光罩有效的安全防护,而长效持久的抗静电效果能避免光罩受到静电的损伤。
启富塑胶的透明防静电abs塑料被广泛应用于生产制造光罩储存盒,并可根据客户的要求定制如下特殊要求:
1.稳定的导电防静电性能,表面电阻率可按照客户需求定制10的6-11次方欧姆;
2.优秀的透明度,并可根据客户需要定制橙色、黄色、蓝底透明;
3.良好的低放气性能,高纯净度,避免光罩受到污染;
4.优秀的机械性能,高抗冲击强度,防止碰撞损伤;
5.优秀的可加工性能和成型周期;
启富塑胶研发生产的导电、防静电、电磁屏蔽塑胶材料广泛应用于各行业不同要求的产品。启富塑胶生产的本色透明导电防静电材料旨在保护关键的电子元器件和机械设备免受静电放电危害,电磁和射频干扰,并具备洁净防尘的特点,还能在传导电荷的同时保持材料本身的基本性能。启富塑胶生产导电防静电光罩盒材料拥有多年经验,有很好的性价比和稳定性。